University of Split

JEOL JSM 7610F Plus je pretražni elektronski mikroskop (SEM - scanning electron microscope) s izvorom elektrona koji zbog narinutog električnog polja ima pojačanu emisiju elektrona (FEG - field emission gun). Smještaj izvora elektrona unutar elektronske leće omogućava stabilan snop elektrona te dobivanje slika visoke razlučivosti za vrlo široki raspon struja (od nekoliko fA do nekoliko stotina pA). Položaj objektiva unutar kolone te mogućnost primjene negativnog napona na uzorak (Gentle Beam®) povećavaju razlučivost i pri vrlo niskim naponima ubrzanja.

Uz mikroskop, instalirani su i sljedeći instrumenti:

EDS (energy dispersive X-ray spectroscopy) spektrometar (Oxford Instruments AZtec Live ADVanced UltimMax 65), za elementalnu analizu uzoraka.

Sustav za raspršivanje tankih slojeva vodiča (Quorum (model Q150T ES Plus), omogućava oslikavanje i površina električnih izolatora.

Instrument za poprečno rezanje i fino poliranje uzoraka (JEOL IB-19530CP Cross Section Polisher), omogućava snimanje poprečnog presjeka uzorka.

CroRis

➤ Razlučivost pri naponu ubrzanja elektrona: 1,0 nm (pri 1 kV), 0,8 nm (15 kV);

➤ Opseg povećanja: od 25× do 1.000.000×; 

➤ Napon ubrzanja elektrona: od 100 V do 30 kV; 

➤ Gentle Beam® – mogućnost nametanja negativnog napona na uzorak s ciljem usporenja elektronskog snopa, što rezultira boljom rezolucijom te manjim efektom nabijanja uzorka; 

➤ Sustav elektronskih leća smješten je unutar kolone, s ugrađenim filterom (r-filter) za razdvajanje upadnih elastično raspršenih i sekundarnih elektrona; 

➤ U komori za uzorke se nalaze detektori sekundarnih (SEI) i elastično raspršenih (BEI) elektrona; 

➤ Automatsko određivanje fokusa (AF) te kontrasta i svjetline (ACB) te anuliranje astigmatizma (AS); 

➤ Struja elektronskog snopa: od 1 pA, 100 nA (pri naponu ubrzanja od 10 kV), 200 nA (15 kV) do 400 nA (30 kV); 

➤ Pretkomora (load lock) za brzu zamjenu uzoraka;

➤ Ugrađena CCD-kamera u boji za brzo pronalaženje detalja na uzorku; 

➤ Računalno upravljanje mikroskopom.